全新HORIBA堀場 高速響應(yīng)/高精度質(zhì)量流量模塊 D700MG系列

全新HORIBA堀場 高速響應(yīng)/高精度質(zhì)量流量模塊 D700MG系列

可對調(diào)諧氣體等低流量氣體進(jìn)行精密控制。

100毫秒或更短的高速響應(yīng)，減少了MFC之間的機(jī)器差異，

提高了生產(chǎn)率并提高了工藝性能。

流量測量的內(nèi)部生產(chǎn)

所有制造的產(chǎn)品都表現(xiàn)出高可靠性。

狀態(tài)監(jiān)控功能

提供更多內(nèi)部數(shù)據(jù)并實(shí)現(xiàn)更智能的故障預(yù)測。

PFA 閥門具有出色的閥門關(guān)閉和耐腐蝕性能

減少停機(jī)時間并優(yōu)化產(chǎn)量。

數(shù)字質(zhì)量流量控制器型號，配備多范圍/多氣體功能，允許用戶更改氣體類型和流量范圍。

實(shí)現(xiàn)±1.0%SP的高精度、全量程1秒內(nèi)高速響應(yīng)、5SCCM～500SLM的寬量程。通訊方式可以從數(shù)字/模擬、DeviceNet™ 和 EtherCAT® 通訊中選擇。該質(zhì)量流量控制器不僅適用于先進(jìn)工藝，而且適用于各種制造工藝。

多量程/多氣體兼容。

氣體類型和滿量程流量可在用戶側(cè)更改。通過減少備件數(shù)量，有助于降低成本。

從微流量（5SCCM FS）到大流量（500SLM FS）均可控制

保證高精度

±1.0% SP（設(shè)定點(diǎn)）

1秒內(nèi)高速響應(yīng)

全量程（T98）

尺寸緊湊，

可選擇的通信方式

陣容：數(shù)字/模擬、DeviceNet™、PROFIBUS®、CC-Link®、EtherCAT®

通訊方式    驅(qū)動電源    產(chǎn)品型號

數(shù)字通訊

可滾動的

寬廣的流量控制范圍，從 10 SCCM 到 1000 SLM

流量控制范圍可以從滿量程流量值的 2% 開始執(zhí)行

高精度：±1.0% 提高 SP 流量精度

配備數(shù)字校正功能，實(shí)現(xiàn)設(shè)定點(diǎn)精度

全流量范圍快速響應(yīng)：1秒內(nèi)完成全量程

配備多氣體/多量程功能，

允許用戶改變氣體類型和滿量程流量。

在整個流量范圍內(nèi)（上升、下降、設(shè)定值到設(shè)定值）響應(yīng)時間為 100 毫秒或更短

自診斷多重診斷功能

改進(jìn)的壓力不敏感功能

高流量精度 (±0.8 %SP) 和重復(fù)性 (±0.15 %SP)

兼容環(huán)境溫度范圍廣（15-60℃）